昭和ケミカル株式会社

　

本装置は、６インチウェハー及び４インチウェハーを各種薬液及び純水を使用して 洗浄・乾燥を行うことを目的とした自動エッチング装置です。

本装置は、６インチウェハー及び４インチウェハーを各種薬液及び純水を使用して 洗浄・乾燥を行うことを目的とした自動剥離装置です。