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納入実績

◆納入実績◆

装置名
概要
バッチ式ウエハー洗浄装置
自動搬送によるウエハー洗浄装置
ドラフト洗浄装置
手動搬送によるウエハー洗浄装置
治具洗浄装置
カセットや石英治具等の洗浄を目的とした装置
排気スクラバー
装置から発生するガスを中和させる装置
薬液供給ユニット
洗浄装置などに使用する薬液を供給する装置
装置リニューアル及び、改造
各種モータ、PLC、制御機器等交換、又はバージョンアップさせます。
装置オーバーホール
既存設備のオーバーホールをします。
装置移設及び解体
装置の解体、梱包、搬送、復旧まで一貫で作業します。
オリフラ合わせ治具
ウエハーのオリフラを合わせる治具(各サイズ)
ウエハー移し替え治具
ウエハーの移し替えを行う治具(各サイズ)

◆その他◆

≪建設業の種類≫

◆装置納入先都道府県◆

◆装置納入先海外◆

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